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高速分光エリプソメータ/Automated Hi-speed Spectroscopic Ellipsometer/UNECS-3000A

薄膜の膜厚や屈折率を高速・高精度に測定する分光エリプソメータ。独特な測定方式を採用し、高速測定とコンパクト化を実現。ユニークなポータブルタイプをはじめ、自動ステージタイプや真空環境に対応した装置ビルトインタイプまで、用途に応じ幅広いラインアップを用意。UNECS-1500A/2000A/3000Aは、自動R-θステージとオートフォーカス機能により基板面内の膜厚分布を素早く自動測定し、結果をカラーマップ表示。

Client: ULVAC / 2011